秦置，地位僅次于丞相。

戰(zhàn)國時各國相繼設(shè)御史，為國君左右掌文書和記錄諸事的官員。因日親君側(cè)，也起秘書監(jiān)察作用。

秦統(tǒng)一后，設(shè)御史大夫，為御史之長官，亦為丞相之貳。職權(quán)為“掌圖籍秘書，外督部刺史，內(nèi)領(lǐng)侍御史員十五人，受公卿奏事，舉劾按章”。丞相有缺，則由其遞補，故有副丞相之稱，并與丞相、太尉合稱三公。其屬官有御史中臣、侍御史等。

此外，西漢初在諸侯國內(nèi)也設(shè)御史大夫，督察封國內(nèi)官吏。漢成帝蘇、綏和年間改御史大夫為大司空，哀帝建平年間復(fù)為御史大夫，元壽二年（公元前1年）復(fù)改稱大司空。

東漢光武帝時，又改大司空為司空，與司徒、太尉仍號三公。至此御史大夫已演變成執(zhí)政官之一。督察百官之職則為御史中臣所取代。御史中臣遂為御史臺之主。

至隋代復(fù)置御史大夫，但此時只是御史中臣的改名而已。

唐沿隋制，于御史臺設(shè)御史大夫一人，為御史臺長，掌承風(fēng)化，典法度，監(jiān)察百官，下設(shè)臺院、殿院、及察院。

但自唐以后，御史大夫名位雖重，實權(quán)則已減輕。故宋元后或闕而不補，或虛存其名。

明初御史臺下設(shè)有左、右御史大夫。洪武十五年（公元1382年）朱元璋改御史臺為都察院，以左右都御史、副都御史、僉都御史為長官，御史大夫遂廢。

清亦未設(shè)。